| 所在地区: | 北京 | 发布日期: | 2016年06月16日 |
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| 内容 | Z | X | Y |
| 有效行程(mm) | (略) | (略) | 5 |
| 定位精度(μm) | ±3 | ±1.5 | ±1.5 |
| 重复精度(μm) | ±1 | ±1 | ±1 |
| 分辨率(μm) | 0.1 | 1 | 1 |
| 直线度、平面度(μm) | 5* | 3 | 3 |
| 运动速度(mm/s) | (略)-(略)** | / | / |
| 俯仰角(μrad) |
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