| 所在地区： | 上海 | 发布日期： | 2018年03月08日 |
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上海市机械设备成套（集团）有限公司受复旦大学的委托，就复旦大学物理气相沉积设备项目（项目编号：(略) 一、项目信息 项目编号：(略) 项目名称：(略) 项目联系人：(略) 联系方式：(略) 二、采购单位信息 采购单位名称：(略) 采购单位地址：(略) 采购单位联系方式：(略) 三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期： 两套物理气相沉积设备均采用磁控溅射镀膜工艺，在基片表面制备纳米级薄膜。其中一套物理气相沉积设备包含六个标准场强的靶枪，采用分子泵泵抽系统，可以安装一片6英寸基片，并带有基片加热和偏压清洗功能。另外一套物理气相沉积设备包含五个标准场强的靶枪和一个强磁靶枪，采用分子泵泵抽系统，可以安装一片6英寸基片，带有基片加热和偏压清洗功能，并安装有进样室。主要用于微电子器件的金属电极薄膜的制备和研究。交货期：(略) 四、采购代理机构信息 采购代理机构全称：(略) 采购代理机构地址：(略) 采购代理机构联系方式：(略) 五、中标信息 招标公告日期：(略) 中标日期：(略) 总中标金额：(略) 中标供应商名称、联系地址及中标金额： 上海市自由贸易试验区张衡路(略)弄(略)-(略)号 评审专家名单： 蒋 宏、宋庚明、华子义、田 震、孙清清 中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求： 物理气相沉积设备；数量：(略) 六、其它补充事宜 |
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