| 所在地区： | 北京 | 发布日期： | 2018年12月06日 |
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东方国际招标有限责任公司受中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所的委托，就“中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所多功能超导材料分子束外延设备采购项目”项目（项目编号：(略)
一、项目信息
项目编号：(略)
项目名称：(略)
项目联系人：(略)
联系方式：(略)
二、采购单位信息
采购单位名称：(略)
采购单位地址：(略)
采购单位联系方式：(略)
三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：
| 设备主要用于真空互联实验站生长高质量、化学配比可控的超导材料，比如Al、Nb，TiN等薄膜。（1）系统满足2英寸样品的生长，向下兼容小尺寸；（2）主要配备衬底处理室和薄膜生长室；（3）薄膜生长室本底真空优于5×(略)-(略)mbar，衬底处理室本底真空优于2×(略)-(略)mbar；（4）配备一个Al蒸发源，坩埚容量至少为(略)cc；（5）配备一个多（≥4）坩埚电子束蒸发源，配备高精度束流检测以及反馈装置；（6）配备衬底温度实时测量闭循环装置；（7）配备高能电子衍射仪；（8）配备高精度膜厚仪；（9）配备残留气体分析仪；（(略)）生长室衬底温度至少可加热至(略)℃，处理室样品至少可加热至(略)℃；（(略)）生长室配备N2等离子体源，用于协助生长；（(略)）衬底制备室配备H2等离子体源，用于清洁衬底。 | 长春安圣源科贸有限责任公司 | 本项目招标代理费总金额：(略) 本项目招标代理费收费标准： （(略)）(略)
评审专家名单： 黄雪祥、吉国凡、高连荣、刘喜荣、丁孙安
中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求： 详见其它补充事宜
六、其它补充事宜
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