此项目进行薄膜刻蚀的技术。干法刻蚀是把硅片表面暴露于气态中产生的等离子体，等离子体通过光刻胶中开出的窗口，与硅片发生物理或化学反应（或同时有这两种反应），从而去掉暴露的表面材料。刻蚀技术的出现是由于集成电路制作工艺的需要,其发展亦是伴随集成电路的不断微细化的和高集成化而完善更新。目前已成为生产中不可缺少的关键技术。此次采购的设备主要用于刻蚀以下几种化合物半导体：(略)

一、项目基本情况

项目编号：(略)

校内编号：(略)

项目名称：(略)

预算金额：(略)

最高限价：(略)

采购需求：

合同履行期限：(略)

本项目(不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

本项目为机电产品国际招标项目，相关法规与政策均按照《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》执行。

3.本项目的特定资格要求：

1）具有独立的法人资格，相应的经营范围； 2）投标人是专业生产本次所需设备的制造商，或由制造商指定一个代理商作为本次投标的唯一授权代理； 3）投标人提供的投标机型应是原产地的全新产品； 4）投标人必须在机电产品招标投标电子交易平台上注册，网址：(略)

三、获取招标文件

时间：(略)

地点：(略)

方式：(略)

售价：(略)

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

(略)年1月8日 (略)点(略)分（北京时间）（自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止，不得少于(略)日）

地点：(略)

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

有意向的投标人可从(略)年(略)月(略)日起至(略)年(略)月(略)日，每天（节假日除外）上午9：(略)

有意向的投标人报名时须先登录“上海交通大学招投标与政府采购办公室（http：(略)

因疫情原因，本招标文件不现场发售，有意向购买的投标人将营业执照复印件、法人代表授权书、身份证复印件（以上材料须加盖公章）、汇款底单（须公对公）和开票信息发送至lins(略)@(略).com，在邮件中注明项目名称、联系人和电话，经招标代理机构审核通过后购买招标文件。

招标机构：(略)

开户银行（人民币）：(略)

账号（人民币）：(略)

摘要：(略)

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：(略)

地址：(略)

联系方式：(略)

2.采购代理机构信息

名 称：(略)

地　址：(略)

联系方式：(略)

3.项目联系方式

项目联系人：(略)

电　话：(略)