项目概况 中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆几何参数量测仪 招标项目的潜在投标人应在上海市静安区恒丰路(略)号机电大厦5楼B座办公室获取招标文件，并于(略)年(略)月(略)日 (略)点(略)分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：(略)

项目名称：(略)

预算金额：(略)

高限价（如有）：(略)

采购需求：

采购1套晶圆几何参数量测仪，用于对晶圆开展衬底弯曲度、薄膜厚度、应力等多项关键几何力学参数的检测分析。通过实时表征与监控晶圆整体平整度，及时识别晶圆形变异常问题，为半导体器件工艺制备提供可靠测试数据支撑，有效保障器件的制备质量、工作性能与长期运行可靠性。具体详见招标文件。

合同履行期限：(略)

本项目(不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

本项目非专门面向中小企业采购。本次招标执行政府强制或优先采购节能产品和环境标志产品、支持中小微企业、促进残疾人就业、支持**和戒毒企业、扶持不发达地区和少数民族地区以及限制采购进口产品、《国务院办公厅关于在政府采购中实施本国产品标准及相关政策的通知》（国办发〔(略)〕(略)号）等相关条例和国家相关法律法规规定等相关政策。

3.本项目的特定资格要求：(略)

三、获取招标文件

时间：(略)

地点：(略)

方式：(略)

售价：(略)

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：(略)

开标时间：(略)

地点：(略)

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

现场购买：(略)

网上购买：(略)

招标文件售价：(略)

注：(略)

开户名：(略)

开户银行：(略)

银行帐号：(略)

摘要：(略)

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：(略)

地址：(略)

联系方式：(略)

2.采购代理机构信息

名 称：(略)

地　址：(略)

联系方式：(略)

3.项目联系方式

项目联系人：(略)

电　话：(略)