中国科学院光电技术研究所12英寸微纳结构刻蚀系统公开招标公告

2026-09-15 四川-成都-武侯区
所在地区: 四川-成都-武侯区 发布日期: 2026年9月15日
招标采购正文
中国科学院光电技术研究所(略)英寸微纳结构刻蚀系统公开招标公告

项目概况 (略)英寸微纳结构刻蚀系统 招标项目的潜在投标人应在中招联合招标采购平台(http:(略)

一、项目基本情况

项目编号:(略)

项目名称:(略)

预算金额:(略)

高限价(如有):(略)

采购需求:

包号

1

货物名称

(略)英寸微纳结构刻蚀系统

数量(台/套)

1套

应用范围和要求

用于(略)吋晶圆刻蚀工艺,配备两个反应腔,可实现SiO2、SiN、有机涂层、low k介质等膜层的刻蚀工艺。

交货期

合同签订后的9个月内交货。

交货地点

招标人指定地点。

是否允许采购进口产品

是否专门面向中小企业采购

采购预算(万元)

(略)

高限价(万元)

(略)

报价币种

人民币

合同履行期限:(略)

本项目(不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求:

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

2.落实政府采购政策需满足的资格要求:

按照政府采购法、政府采购法实施条例和相关规定执行:(略)

3.本项目的特定资格要求:(略)

三、获取招标文件

时间:(略)

地点:(略)

方式:(略)

售价:(略)

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间:(略)

开标时间:(略)

地点:(略)

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

本项目为重新启动招标项目,已经报名成功的无需重新报名,登录中招联合招标采购平台(http:(略)

七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称:(略)

地址:(略)

联系方式:(略)

2.采购代理机构信息

名 称:(略)

地 址:(略)

联系方式:(略)

3.项目联系方式

项目联系人:(略)

电 话:(略)

 

按照客观、公正、公开的原则,本条信息受业主方委托独家指定在中国建设招标网 www.jszhaobiao.com 发布

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