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复旦大学纳米级同步控制试验平台项目中标公告

2018-07-09 上海
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所在地区: 上海 发布日期: 2018年07月09日
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中标公示正文

  上海同济工程咨询有限公司受复旦大学的委托,就“复旦大学纳米级同步控制试验平台项目”项目(项目编号:(略)
一、项目信息
项目编号:(略)
项目名称:(略)
项目联系人:(略)
联系方式:(略)
二、采购单位信息
采购单位名称:(略)
采购单位地址:(略)
采购单位联系方式:(略)
三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期:
搭建一套同步控制实验平台,分别模拟实际光刻机中的工件台和掩模台的同步运动,完成对所提同步控制方法的试验验证。该平台由测量框架、模拟工件台和模拟掩模台构成,通过激光干涉仪和一套基于VME总线和DSP控制板卡的实时控制系统来实现两个运动台的纳米精度同步运动控制。合同履行日期为6个月。
四、采购代理机构信息
采购代理机构全称:(略)
采购代理机构地址:(略)
采购代理机构联系方式:(略)
五、中标信息
招标公告日期:(略)
中标日期:(略)
总中标金额:(略)
中标供应商名称、联系地址及中标金额:
序号 中标供应商名称 中标供应商联系地址 中标金额(万元)
1 北京华卓精科科技股份有限公司 北京市海淀区清华科技园学研大厦B座(略)室 (略).(略)

本项目招标代理费总金额:(略)
本项目招标代理费收费标准:
根据《招标代理服务收费管理暂行办法》(国家计委计价格[(略)](略)号)服务类招标代理服务费(差额定率累进法)乘以服务费调整系数(略).(略)%
评审专家名单:
马金水、丁宏锴、鲁明、周生明、陈庆生
中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求:
复旦大学纳米级同步控制试验平台项目包含纳米级同步控制试验平台1套,单价为(略)万(包含检测、包装、运输及保险、售后及维修等费用),该平台需完成分别模拟实际光刻机中的工件台和掩模台的同步运动,完成对所提同步控制方法的试验验证
六、其它补充事宜
公示有效期1个工作日。
感谢各供应商单位对本次采购活动的积极参与!

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