| 所在地区： | 广东 | 发布日期： | 2018年12月25日 |
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等离子体增强化学气相淀积（PECVD）和低压化学气相淀积(LPCVD）一体设备主要用于高效太阳能电池的研究，该设备能够完成PERC电池正膜和背膜的镀膜工艺，能完成TOPcon电池的SiOx/polySi薄膜工艺。目前中国电子科技集团公司第四十八研究所是国内唯一一家能够同时在PERC电池和TOPcon电池领域具有成熟设备投入市场或者通过工艺验证的设备生产企业。基于以上考虑，根据《政府采购法》第三十一条符合下列情形之一的货物或者服务，可以依照本法采用单一来源方式采购：(略)
