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西电芜湖研究院薄膜测试与快速退火系统变更公告

2020-12-11 安徽
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所在地区: 安徽 发布日期: 2020年12月11日
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变更公告正文

一、项目基本情况

原公告的采购项目编号:(略)

原公告的采购项目名称:(略)

首次公告日期:(略)

二、更正信息

更正事项:(略)

更正内容:

1、原招标文件中采购需求一览表序号6内容为:

6

等离子体打胶机

*1.石英材质反应室,基础真空度约为(略)mtorr;工作真空度约为(略)—(略)mtorr

2.具有观察窗,反应室内部尺寸:(略)

*3.气体系统抽气:(略)

4.真空测量:(略)

5.气体输送:(略)

*6. 微波电源:(略)

7. 控制系统:(略)

8.每个工艺菜单最多可设置(略)步工艺步骤

9.微波功率、工艺气体的流量、工艺时间均可由PC自动控制

(略).操控界面可实时显示微波功率、气体流量、工作腔室内压力、工艺时间等参数

1

台

现更正修改为:

6

等离子体打胶机

*1.石英材质反应室,基础真空度约为(略)mtorr;工作真空度约为(略)—(略)mtorr

2.具有观察窗,反应室内部尺寸:(略)

3.气体系统抽气:(略)

4.真空测量:(略)

5.气体输送:(略)

*6. 微波电源:(略)

7. 控制系统:(略)

8.每个工艺菜单最多可设置(略)步工艺步骤

9.微波功率、工艺气体的流量、工艺时间均可由PC自动控制

(略).操控界面可实时显示微波功率、气体流量、工作腔室内压力、工艺时间等参数

1

台

更正日期:(略)

三、其他补充事宜

本项目其它要求不变。

注:(略)

四、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

名称:(略)

采购人地址:(略)

联系电话:(略)

2.采购代理机构信息

名称:(略)

地址:(略)

联系电话:(略)

3.项目联系方式

项目联系人:(略)

电话:(略)

    

采购人:(略)

采购代理机构:(略)

(略)年(略)月(略)日

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