| 所在地区: | 安徽 | 发布日期: | 2020年12月11日 |
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一、项目基本情况 原公告的采购项目编号:(略) 原公告的采购项目名称:(略) 首次公告日期:(略) 二、更正信息 更正事项:(略) 更正内容: 1、原招标文件中采购需求一览表序号6内容为: 6 等离子体打胶机 *1.石英材质反应室,基础真空度约为(略)mtorr;工作真空度约为(略)—(略)mtorr 2.具有观察窗,反应室内部尺寸:(略) *3.气体系统抽气:(略) 4.真空测量:(略) 5.气体输送:(略) *6. 微波电源:(略) 7. 控制系统:(略) 8.每个工艺菜单最多可设置(略)步工艺步骤 9.微波功率、工艺气体的流量、工艺时间均可由PC自动控制 (略).操控界面可实时显示微波功率、气体流量、工作腔室内压力、工艺时间等参数 1 台 现更正修改为: 6 等离子体打胶机 *1.石英材质反应室,基础真空度约为(略)mtorr;工作真空度约为(略)—(略)mtorr 2.具有观察窗,反应室内部尺寸:(略) 3.气体系统抽气:(略) 4.真空测量:(略) 5.气体输送:(略) *6. 微波电源:(略) 7. 控制系统:(略) 8.每个工艺菜单最多可设置(略)步工艺步骤 9.微波功率、工艺气体的流量、工艺时间均可由PC自动控制 (略).操控界面可实时显示微波功率、气体流量、工作腔室内压力、工艺时间等参数 1 台 更正日期:(略) 三、其他补充事宜 本项目其它要求不变。 注:(略) 四、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名称:(略) 采购人地址:(略) 联系电话:(略) 2.采购代理机构信息 名称:(略) 地址:(略) 联系电话:(略) 3.项目联系方式 项目联系人:(略) 电话:(略) 采购人:(略) 采购代理机构:(略) (略)年(略)月(略)日
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